明天！华工科技碳化硅检测设备灵睛Aeye系列新品首发

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　　4月9日，华工科技（000988）将携化合物半导体激光+量测先进装备解决方案亮相2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会。

　　碳化硅衬底外观缺陷检测智能装备

　　碳化硅晶圆关键尺寸测量智能装备

　　华工科技自主研发的国产碳化硅衬底/外延片缺陷检测设备，针对碳化硅衬底/外延片生产企业的工艺控制环节（过程检测、终检、来料入厂检），对碳化硅衬底/外延片的表面及亚表面缺陷进行精准快速识别、定位、分类，为提升碳化硅衬底/外延片质量控制工艺保驾护航。

来源：华工科技官微

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