中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑

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　　近日，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)的电容耦合等离子体(CCP)刻蚀设备第3000台反应腔顺利付运国内一家先进的半导体芯片制造商。

来源：证券时报网

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