微导纳米发布先进封装低温薄膜应用解决方案

导读 小枫来为解答以上问题。微导纳米发布先进封装低温薄膜应用解决方案,这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧~.~!  微导纳米(688147....

小枫来为解答以上问题。微导纳米发布先进封装低温薄膜应用解决方案,这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧~.~!

  微导纳米(688147.SH)发布公告,近期公司在“第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛(CIPA2024)”上首次发布了自主研发的“先进封装低温薄膜应用解决方案”。该方案针对半导体领域2.5D和3D先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计,能够在50~200°C的低温温度区间内实现高均匀性、高质量、高可靠性的薄膜沉积效果。

  据悉,公司在半导体领域已推出包括iTomic系列原子层沉积系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积系统、iTronix系列化学气相沉积系统等系列产品,现有产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示(硅基OLED)中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖

  同时,公司瞄准国内外半导体先进技术和工艺的发展方向,持续丰富产品矩阵,为客户提供最先进的、集成化的真空技术工艺解决方案,打通国内先进半导体下一代技术迭代的需求。目前,2.5D和3D封装技术正以其高集成度和优越性能,成为推动电子器件微型化和性能提升的重要手段。

来源:智通财经

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